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Système de Dépôt de Film Mince de TFS 600 de Beneq

Le Beneq TFS 600 est un système spécifique à l'application d'ALD conçu pour l'encapsulation organique de light emitting diode intégrée (OLED) parline. Il fournit la qualité en couche mince du supérieur ALD tout en répondant au débit, à la robustesse, et aux besoins élevés de fiabilité d'un environnement intégré industriel. Dans le TFS 600, ces conditions sont adressées par design optimisé de cavité de réaction, une construction robuste et modulaire, les composants prouvés de contrôle et de fonctionnement et les fonctionnalités de sécurité intégrées.

Points culminants de Performance

  • Qualité en couche mince Supérieure de couche, idéalement adaptée à exiger des applications d'encapsulation d'OLED
  • Conditions de production intégrées de temps de cycle de débit élevé Court de contact
  • Fonctionnements Entièrement robotisés de charge
  • Propre-Chambre compatible
  • Tous Les composants plac dans le cadre aéré pour des raisons de sécurité du travail et de santé
  • Conception ergonomique pour maximiser l'efficience de traiter, précurseur de substrat changeant et maintenance de puits à dépression accès et
  • Le Système de contrôle a conçu pour la ligne facile intégration et compatible avec la transmission de matériel-à-hôte de GEM/SECS

Last Update: 11. January 2012 06:16

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