TFS 600 Thin Film Deposizione di sistema da Beneq

TFS 600 Thin Film Deposizione di sistema da Beneq

Il Beneq TFS 600 è un'applicazione specifica del sistema progettato per sottovuoto ALD-line integrata Organic Light-Emitting Diode (OLED) incapsulamento. Esso fornisce superiore ALD a film sottile di qualità nel rispetto dei throughput elevato, la robustezza, l'affidabilità e le esigenze di un'attività industriale in-line. Nel TFS 600 , questi requisiti vengono risolti con design ottimizzato camera di reazione, una costruzione robusta e modulare, il controllo provata e componenti funzionamento e caratteristiche di sicurezza integrate.

Prestazioni in evidenza

  • Superiore a film sottile rivestimento di qualità, ideale per applicazioni di incapsulamento OLED
  • Breve tempo di attraversamento ciclo di incontro ad alto in-linea di produzione requisiti
  • Operazioni di carico completamente automatizzato
  • Clean-room compatibile
  • Tutti i componenti situati all'interno della struttura ventilata per la sicurezza e motivi di salute
  • Design ergonomico per massimizzare l'efficienza della movimentazione del substrato, cambiando precursore e la camera a vuoto di accesso e la manutenzione
  • Sistema di controllo progettato per l'integrazione linea semplice e compatibile con GEM / SECS attrezzature-to-host comunicazione

Last Update: 1. November 2011 00:18

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