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Beneq からの TFS 600 の薄膜の沈殿システム

Beneq TFS 600 は真空ラインによって統合される有機性発光ダイオードのカプセル封入のために設計されているアプリケーション特有の ALD システム (OLED)です。 それは産業インライン環境の高いスループット、強さおよび信頼性の条件を満たしている間優秀な ALD の薄膜の品質を提供します。 TFS 600 では、これらの条件は最適化された反作用区域デザインによって、強く、モジュラー造り、証明された制御および操作のコンポーネントおよび統合された安全機能処理されます。

パフォーマンスハイライト

  • 理想的に OLED のカプセル封入アプリケーションを要求するために適する優秀な薄膜のコーティングの品質、
  • 高いスループットインライン生産所要を満たす短いサイクル時間
  • 十分に自動化されたローディング操作
  • 互換性があるクリーンルーム
  • 職業安全衛生の理由のための換気されたフレームの内で取付けられる全部品
  • および真空槽のアクセス変更するおよび維持基板の処理の効率を、前駆物質最大化するための人間工学的デザイン
  • GEM/SECS の装置にホストの通信連絡との容易なライン統合のためにそして互換性がある設計されている制御システム

Last Update: 11. January 2012 06:21

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