Beneq에서 TFS 600 박막 공술서 시스템

Beneq에서 TFS 600 박막 공술서 시스템

Beneq TFS 600는 진공 선 통합한 유기 발광 다이오드 캡슐에 넣기를 위해 디자인된 특정 용도 ALD 시스템 (OLED)입니다. 그것은 산업 인라인 환경의 높은 처리량, 강건함 및 신뢰도 요구에 응하고 있는 동안 우량한 ALD 박막 질을 제공합니다. TFS 600에서는, 이 필수품은 낙관된 반응 약실 디자인에 의해, 강력한 모듈 구조, 입증된 통제와 작동 분대 및 통합된 안전 특징 처리됩니다.

성과 하이라이트

  • 이상적으로 OLED 캡슐에 넣기 응용 요구를 위해 적응되는 우량한 박막 코팅 질,
  • 높은 처리량 인라인 생산 요구에 응하는 짧은 주기 시간
  • 완전히 자동화된 적재 작동
  • 양립한 청정실
  • 직업 안전과 건강 이유를 위한 송풍된 프레임 안에서 있는 모든 성분
  • 취급하고, 선구자 변경하고 진공 약실 접근 정비 기질의 효율성 확대를 위한 인간 환경 공학 디자인
  • GEM/SECS 장비 에 호스트 커뮤니케이션과 쉬운 선 통합을 위해 그리고 호환이 되는 제어계 설계

Last Update: 11. January 2012 06:23

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