Beneq TFS 600는 진공 선 통합한 유기 발광 다이오드 캡슐에 넣기를 위해 디자인된 특정 용도 ALD 시스템 (OLED)입니다. 그것은 산업 인라인 환경의 높은 처리량, 강건함 및 신뢰도 요구에 응하고 있는 동안 우량한 ALD 박막 질을 제공합니다. TFS 600에서는, 이 필수품은 낙관된 반응 약실 디자인에 의해, 강력한 모듈 구조, 입증된 통제와 작동 분대 및 통합된 안전 특징 처리됩니다.
성과 하이라이트
- 이상적으로 OLED 캡슐에 넣기 응용 요구를 위해 적응되는 우량한 박막 코팅 질,
- 높은 처리량 인라인 생산 요구에 응하는 짧은 주기 시간
- 완전히 자동화된 적재 작동
- 양립한 청정실
- 직업 안전과 건강 이유를 위한 송풍된 프레임 안에서 있는 모든 성분
- 취급하고, 선구자 변경하고 진공 약실 접근 정비 기질의 효율성 확대를 위한 인간 환경 공학 디자인
- GEM/SECS 장비 에 호스트 커뮤니케이션과 쉬운 선 통합을 위해 그리고 호환이 되는 제어계 설계