Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

TFS 600 het Systeem van het Deposito van de Dunne Film van Beneq

Beneq TFS 600 is een application-specific systeem ALD dat voor vacuüm-lijn geïntegreerde organische lichtgevende diodeinkapseling (OLED) wordt ontworpen. Het verstrekt superieure thin-film kwaliteit ALD terwijl het voldoen aan van de hoge productie, de robuustheid, en de betrouwbaarheidsvereisten van een industrieel in-line milieu. In TFS 600, worden deze vereisten gericht door het geoptimaliseerde ontwerp van de reactiekamer, bouwt robuust en modulair, bewezen controle en verrichtingscomponenten en geïntegreerde veiligheidseigenschappen.

De hoogtepunten van Prestaties

  • Superieure thin-film deklaagkwaliteit, ideaal gezien geschikt voor het eisen van OLED inkapselingstoepassingen
  • Korte cyclustijd die aan de hoge vereisten van de productie in-line productie voldoen
  • Volledig geautomatiseerde het laden verrichtingen
  • Clean-room compatibel systeem
  • Alle componenten die binnen geventileerd frame om beroepsveiligheid en gezondheidsredenen worden gevestigd
  • Ergonomisch ontwerp voor het maximaliseren van efficiency van substraat behandeling, voorloper het veranderen en luchtledige kamertoegang en onderhoud
  • Het systeem van de Controle dat voor gemakkelijke lijnintegratie en compatibel systeem wordt ontworpen met Gem/secs materiaal-aan--gastheer mededeling

Last Update: 11. January 2012 06:15

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment