Sistema do Depósito do Filme Fino de TFS 600 de Beneq

O Beneq TFS 600 é um sistema característico da aplicação de ALD projetado para a vácuo-linha capsulagem orgânica integrada do diodo (OLED) luminescente. Fornece a qualidade de fita fina superior de ALD ao cumprir a produção, o vigor, e as exigências altos da confiança de uma em-linha industrial ambiente. No TFS 600, estas exigências são endereçadas pelo projecto aperfeiçoado da câmara da reacção, uma construção robusta e modular, componentes provados do controle e da operação e características integradas da segurança.

Destaques do Desempenho

  • Qualidade de fita fina Superior do revestimento, serida idealmente exigindo aplicações da capsulagem de OLED
  • Tempo de ciclo Curto que encontra a em-linha alta exigências da produção de produção
  • Operações de carregamento Inteiramente automatizadas
  • Sala De Limpeza compatível
  • Todos Os componentes situados dentro do quadro ventilado para a saúde e segurança no trabalho raciocinam
  • Projecto Ergonómico para maximizar a eficiência da carcaça que segura, mudança do precursor e acesso e manutenção da câmara de vácuo
  • O Sistema de controlo projectou para a linha fácil integração e compatível com uma comunicação do equipamento-à-anfitrião de GEM/SECS

Last Update: 11. January 2012 06:27

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