O Beneq TFS 600 é um sistema característico da aplicação de ALD projetado para a vácuo-linha capsulagem orgânica integrada do diodo (OLED) luminescente. Fornece a qualidade de fita fina superior de ALD ao cumprir a produção, o vigor, e as exigências altos da confiança de uma em-linha industrial ambiente. No TFS 600, estas exigências são endereçadas pelo projecto aperfeiçoado da câmara da reacção, uma construção robusta e modular, componentes provados do controle e da operação e características integradas da segurança.
Destaques do Desempenho
- Qualidade de fita fina Superior do revestimento, serida idealmente exigindo aplicações da capsulagem de OLED
- Tempo de ciclo Curto que encontra a em-linha alta exigências da produção de produção
- Operações de carregamento Inteiramente automatizadas
- Sala De Limpeza compatível
- Todos Os componentes situados dentro do quadro ventilado para a saúde e segurança no trabalho raciocinam
- Projecto Ergonómico para maximizar a eficiência da carcaça que segura, mudança do precursor e acesso e manutenção da câmara de vácuo
- O Sistema de controlo projectou para a linha fácil integração e compatível com uma comunicação do equipamento-à-anfitrião de GEM/SECS