Beneq Oy - Thin Film Equipment logo.

Система Низложения Тонкого Фильма TFS 600 от Beneq

Система Низложения Тонкого Фильма TFS 600 от Beneq

Beneq TFS 600 специфическая для приложения система ALD конструированная для вакуум-линии интегрированного органического заключения светоиспускающого (OLED) диода. Оно обеспечивает главное качество ALD тонкопленочное пока соотвествующ высоким объём, робастности, и надежности промышленной встроенной окружающей среды. В TFS 600, эти требования адресованы оптимизированным проектом камеры реакции, робастным и модульным строением, доказанными компонентами управления и деятельности и интегрированными характеристиками безопасности.

Самые интересные Представления

  • Главное тонкопленочное качество покрытия, идеально одетое для требовать применениям заключения OLED
  • Время Краткосрочного цикла соотвествуя продукции высокого объём встроенные
  • Польностью автоматизированные нагружая деятельности
  • Чистая Комната совместимая
  • Все компоненты устроенные внутри провентилированная рамка для причин оккупационной безопасности и здоровья
  • Эргономическая конструкция для увеличивать эффективность субстрата регулируя, изменять прекурсора и доступ и обслуживание камеры вакуума
  • Система управления конструировала для легкой линии внедрения и совместимого с связью оборудовани-к-хозяина GEM/SECS

Other Equipment by this Supplier