Beneq TFS 600 специфическая для приложения система ALD конструированная для вакуум-линии интегрированного органического заключения светоиспускающого (OLED) диода. Оно обеспечивает главное качество ALD тонкопленочное пока соотвествующ высоким объём, робастности, и надежности промышленной встроенной окружающей среды. В TFS 600, эти требования адресованы оптимизированным проектом камеры реакции, робастным и модульным строением, доказанными компонентами управления и деятельности и интегрированными характеристиками безопасности.
Самые интересные Представления
- Главное тонкопленочное качество покрытия, идеально одетое для требовать применениям заключения OLED
- Время Краткосрочного цикла соотвествуя продукции высокого объём встроенные
- Польностью автоматизированные нагружая деятельности
- Чистая Комната совместимая
- Все компоненты устроенные внутри провентилированная рамка для причин оккупационной безопасности и здоровья
- Эргономическая конструкция для увеличивать эффективность субстрата регулируя, изменять прекурсора и доступ и обслуживание камеры вакуума
- Система управления конструировала для легкой линии внедрения и совместимого с связью оборудовани-к-хозяина GEM/SECS