Система Низложения Тонкого Фильма TFS 600 от Beneq

Система Низложения Тонкого Фильма TFS 600 от Beneq

Beneq TFS 600 специфическая для приложения система ALD конструированная для вакуум-линии интегрированного органического заключения светоиспускающого (OLED) диода. Оно обеспечивает главное качество ALD тонкопленочное пока соотвествующ высоким объём, робастности, и надежности промышленной встроенной окружающей среды. В TFS 600, эти требования адресованы оптимизированным проектом камеры реакции, робастным и модульным строением, доказанными компонентами управления и деятельности и интегрированными характеристиками безопасности.

Самые интересные Представления

  • Главное тонкопленочное качество покрытия, идеально одетое для требовать применениям заключения OLED
  • Время Краткосрочного цикла соотвествуя продукции высокого объём встроенные
  • Польностью автоматизированные нагружая деятельности
  • Чистая Комната совместимая
  • Все компоненты устроенные внутри провентилированная рамка для причин оккупационной безопасности и здоровья
  • Эргономическая конструкция для увеличивать эффективность субстрата регулируя, изменять прекурсора и доступ и обслуживание камеры вакуума
  • Система управления конструировала для легкой линии внедрения и совместимого с связью оборудовани-к-хозяина GEM/SECS

Last Update: 11. January 2012 06:29

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier