TFS 600 Filmar Thin AvlagringSystemet från Beneq

Beneqen TFS 600 är ettnärmare detalj ALD system som planläggs för, dammsuga-fodrar inbyggd organisk ljus-sändande ut diod (OLED)inkapsling. Den ger överman som ALD tunn-filmar kvalitets- stunder som möter kickgenomgången, robusthet, och pålitlighetskrav av ett industriellt i-fodrar miljön. I TFSEN 600, tilltalas dessa krav av den optimerade reaktionskammaredesignen, ett robustt, och modulbyggande som bevisas kontrollerar och funktionsdelar och inbyggda säkerhetssärdrag.

Kapacitetsviktig

  • Överman tunn-filmar att täcka som är kvalitets-, idealt passat för att begära OLED-inkapslingapplikationer
  • Kort stavelse cyklar genomgång för tidmötekick i-fodrar produktionkrav
  • Fullständigt automatiserade ladda funktioner
  • kompatibelt Rengöring-Rum
  • Alla delar som lokaliseras inom ventilerat, inramar för yrkes- säkerhet, och vård- resonerar
  • Den Ergonomiska designen för maximering av effektivitet av substratebruk, precursoren som ändrar och, dammsuger kammaren tar fram och underhåll
  • Kontrollera systemet som planläggs för lätt, fodrar integration, och kompatibelt med GEM/SECS utrustning-till-vara värd kommunikationen

Last Update: 23. January 2012 03:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment