TFS 600 Filmar Thin AvlagringSystemet från Beneq

TFS 600 Filmar Thin AvlagringSystemet från Beneq

Beneqen TFS 600 är ettnärmare detalj ALD system som planläggs för, dammsuga-fodrar inbyggd organisk ljus-sändande ut diod (OLED)inkapsling. Den ger överman som ALD tunn-filmar kvalitets- stunder som möter kickgenomgången, robusthet, och pålitlighetskrav av ett industriellt i-fodrar miljön. I TFSEN 600, tilltalas dessa krav av den optimerade reaktionskammaredesignen, ett robustt, och modulbyggande som bevisas kontrollerar och funktionsdelar och inbyggda säkerhetssärdrag.

Kapacitetsviktig

  • Överman tunn-filmar att täcka som är kvalitets-, idealt passat för att begära OLED-inkapslingapplikationer
  • Kort stavelse cyklar genomgång för tidmötekick i-fodrar produktionkrav
  • Fullständigt automatiserade ladda funktioner
  • kompatibelt Rengöring-Rum
  • Alla delar som lokaliseras inom ventilerat, inramar för yrkes- säkerhet, och vård- resonerar
  • Den Ergonomiska designen för maximering av effektivitet av substratebruk, precursoren som ändrar och, dammsuger kammaren tar fram och underhåll
  • Kontrollera systemet som planläggs för lätt, fodrar integration, och kompatibelt med GEM/SECS utrustning-till-vara värd kommunikationen

Last Update: 23. January 2012 03:56

Other Equipment by this Supplier