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TFS 600 薄膜从 Beneq 的证言系统

Beneq TFS 600 是为真空线路集成的有机发光二极管封闭设计的一个有特殊用途的 ALD (OLED) 系统。 它提供优越 ALD 薄膜质量,当符合一个行业轴向环境的高处理量、强壮和可靠性要求时。 在 TFS 600,这些需求由优化回应房间设计解决、稳健和模件编译、证明的控制和运算要素和集成的安全性功能。

性能高亮度显示

  • 优越薄膜涂层质量,理想地说适合于需求 OLED 封闭应用
  • 符合高处理量轴向产品要求的短的循环时间
  • 充分地自动化的装载的运算
  • 兼容的清洁的房间
  • 在职业性安全与卫生原因的被通风的框架内设置的所有组分
  • 最大化的效率人体工程的设计更改基体处理的前体和真空箱存取和维护
  • 为容易的线路控制系统设计综合化和与 GEM/SECS 设备对主机通信兼容

Last Update: 11. January 2012 06:13

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