TFS的600薄膜沉積系統從 Beneq

Beneq 600 TFS是應用程序特定的ALD系統,設計用於真空行綜合的有機發光二極管(OLED)封裝。同時滿足高吞吐量,魯棒性和可靠性的工業行環境的要求,它提供了優越的ALD薄膜的質量。在TFS 600 ,這些要求是解決優化的反應室設計,建立一個強大的和模塊化,經過證明的控制及操作元件和集成的安全功能。

業績突出

  • 高級薄膜塗層質量,要求OLED封裝應用的理想選擇
  • 週期短的時間滿足高吞吐量,生產線的要求
  • 全自動裝載作業
  • 清潔的房間兼容
  • 內通風良好的職業安全和健康原因幀中的所有組件
  • 人體工程學設計,最大限度地提高效率,基板處理,易制毒化學變化和真空室的訪問和維護
  • 易行集成和兼容GEM / SECS設備到主機的通信控制系統設計

Last Update: 4. October 2011 21:49

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