Beneq Oy - Thin Film Equipment logo.

TFS 1200 Thin Film Deposition System fra Beneq

TFS 1200 Thin Film Deposition System fra Beneq

Den Beneq TFS 1200 er et ALD behandlingen modul, der er integreret i CIGS fordampning eller hurtig termisk behandling (RTP) selenization linjer. Deposition gang for en 30 nm tyk Zn (O, S) buffer lag er mindre end 5 min. ALD er mere kompakt og billigere end konventionelle CBD-CdS buffer lag processer.

Den Beneq TFS 1200 er et program-specifikke system designet til industrielle in-line produktion af buffer lag belægninger på kobber-indium-gallium-diselenide (CIGS) tyndfilm solceller. Den maksimale substrat størrelse er 1200 × 1200 (mm), en anerkendt verdens-rekord i substrat størrelse i ALD.

Other Equipment by this Supplier