El Beneq TFS 1200 es un ALD que tramita el módulo que es integrado en la evaporación de los CIGS o la termal rápida que tramita (RTP) líneas del selenization. El tiempo de la Deposición para las 30 capas gruesas del almacenador intermediaro del Zn del nanómetro (O, S) es menos de 5 ALD mínimos son más compactos y menos costosos que los CBD-CD convencionales protegen procesos de la capa.
El Beneq TFS 1200 es un sistema específico a la aplicación diseñado para la producción en línea industrial de capas de la capa del almacenador intermediaro en las células solares de la película fina del cobre-indio-galio-diselenide (CIGS). La talla máxima del substrato es el × 1200 1200 (milímetro), un récord mundial reconocido de tamaño del substrato en ALD.