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Sistema de la Deposición de la Película Fina de TFS 1200 de Beneq

El Beneq TFS 1200 es un ALD que tramita el módulo que es integrado en la evaporación de los CIGS o la termal rápida que tramita (RTP) líneas del selenization. El tiempo de la Deposición para las 30 capas gruesas del almacenador intermediaro del Zn del nanómetro (O, S) es menos de 5 ALD mínimos son más compactos y menos costosos que los CBD-CD convencionales protegen procesos de la capa.

El Beneq TFS 1200 es un sistema específico a la aplicación diseñado para la producción en línea industrial de capas de la capa del almacenador intermediaro en las células solares de la película fina del cobre-indio-galio-diselenide (CIGS). La talla máxima del substrato es el × 1200 1200 (milímetro), un récord mundial reconocido de tamaño del substrato en ALD.

Last Update: 11. January 2012 06:30

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