Système 1200 de Dépôt de Film Mince de TFS de Beneq

Le Beneq TFS 1200 est un ALD traitant le module qui est intégré dans l'évaporation de CLOPES ou la thermique rapide traitant (RTP) des lignes de selenization. Le temps de Dépôt pour des 30 couches épaisses de solution tampon du Zn de nanomètre (O, S) est moins de 5 ALD mn sont plus de contrat et moins de chers que les CBD-Cd conventionnels mettent en mémoire tampon des procédés de couche.

Le Beneq TFS 1200 est un système spécifique à l'application conçu pour la production intégrée industrielle des couches de couche de tampon sur les piles solaires de film mince de cuivre-indium-Galliums-diselenide (CLOPES). La taille maximum de substrat est le × 1200 1200 (millimètre), un record mondial identifié dans la taille de substrat dans ALD.

Last Update: 11. January 2012 06:16

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