Sistema di Deposito della Pellicola Sottile di TFS 1200 da Beneq

Il Beneq TFS 1200 è un modulo di trattamento di ALD che è integrato in evaporazione di CIGS o nelle righe termiche di selenization (RTP) di trattamento della rapida. Il tempo del Deposito per i 30 livelli spessi della soluzione tampone dello Zn di nanometro (O, S) è di meno di 5 ALD min. sono più compatti e meno costosi che trattamenti convenzionali del livello del buffer dei CBD-CD.

Il Beneq TFS 1200 è un sistema caratteristico dell'applicazione progettato per produzione in-linea industriale dei rivestimenti del livello del buffer sulle pile solari della pellicola sottile del rame-indio-gallio-diselenide (CIGS). La dimensione massima del substrato è × 1200 1200 (millimetro), un record del mondo riconosciuto nella dimensione del substrato in ALD.

Last Update: 11. January 2012 06:20

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