Beneq からの TFS 1200 の薄膜の沈殿システム

Beneq からの TFS 1200 の薄膜の沈殿システム

Beneq TFS 1200 は selenization ラインを処理する CIGS の蒸発か急速な上昇温暖気流に統合されているモジュールを処理する (RTP) ALD です。 nm の厚い Zn (O、 S) バッファ層 30 のための沈殿時間は慣習的な CBD カドミウムが層プロセスを緩衝するより比較的安価 5 最少 ALD がよりコンパクト、であるよりより少しです。

Beneq TFS 1200 は銅インジウムガリウムdiselenide (CIGS) 薄膜の太陽電池のバッファ層のコーティングの産業インライン生産のために設計されているアプリケーション特有のシステムです。 最大基板のサイズは 1200 の × 1200 (mm)、 ALD の基板のサイズの認識された世界レコードです。

Last Update: 11. January 2012 06:21

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