Beneq からの TFS 1200 の薄膜の沈殿システム

Beneq TFS 1200 は selenization ラインを処理する CIGS の蒸発か急速な上昇温暖気流に統合されているモジュールを処理する (RTP) ALD です。 nm の厚い Zn (O、 S) バッファ層 30 のための沈殿時間は慣習的な CBD カドミウムが層プロセスを緩衝するより比較的安価 5 最少 ALD がよりコンパクト、であるよりより少しです。

Beneq TFS 1200 は銅インジウムガリウムdiselenide (CIGS) 薄膜の太陽電池のバッファ層のコーティングの産業インライン生産のために設計されているアプリケーション特有のシステムです。 最大基板のサイズは 1200 の × 1200 (mm)、 ALD の基板のサイズの認識された世界レコードです。

Last Update: 11. January 2012 06:21

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment