Beneq TFS 1200 is een ALD verwerkingsmodule die in verdamping CIGS of de snelle thermische lijnen van verwerkingsselenization (RTP) geïntegreerd is. De tijd van het Deposito voor een de bufferlaag van 30 NM dikke Zn (O, S) is minder dan 5 min. ALD compacter en minder duur dan de conventionele CBD-CdS processen van de bufferlaag is.
Beneq TFS 1200 is een application-specific systeem dat voor industriële in-line productie van de deklagen van de bufferlaag de zonnecellen op van de koper-indium-gallium-diselenide (CIGS) wordt ontworpen dunne film. De maximumsubstraatgrootte is 1200 × 1200 (mm), een erkend wereld-verslag in substraatgrootte in ALD.