Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

TFS 1200 het Systeem van het Deposito van de Dunne Film van Beneq

Beneq TFS 1200 is een ALD verwerkingsmodule die in verdamping CIGS of de snelle thermische lijnen van verwerkingsselenization (RTP) geïntegreerd is. De tijd van het Deposito voor een de bufferlaag van 30 NM dikke Zn (O, S) is minder dan 5 min. ALD compacter en minder duur dan de conventionele CBD-CdS processen van de bufferlaag is.

Beneq TFS 1200 is een application-specific systeem dat voor industriële in-line productie van de deklagen van de bufferlaag de zonnecellen op van de koper-indium-gallium-diselenide (CIGS) wordt ontworpen dunne film. De maximumsubstraatgrootte is 1200 × 1200 (mm), een erkend wereld-verslag in substraatgrootte in ALD.

Last Update: 11. January 2012 06:15

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment