TFS 1200 Thin Film Nedfall System fra Beneq

TFS 1200 Thin Film Nedfall System fra Beneq

Den Beneq TFS 1200 er en ALD prosessmodul som er integrert i CIGS fordampning eller rask termisk prosessering (RTP) selenization linjer. Deponering tid for en 30 nm tykk Zn (O, S) buffer laget er mindre enn 5 min. ALD er mer kompakte og billigere enn konvensjonelle CBD-CdS buffer layer prosesser.

Den Beneq TFS 1200 er et program-spesifikke system designet for industriell in-line produksjon av buffer layer belegg på kobber-indium-gallium-diselenide (CIGS) tynnfilm solceller. Den maksimale underlaget størrelse er 1200 × 1200 (mm), en anerkjent verden-rekord i substrat størrelse i ALD.

Last Update: 10. October 2011 15:24

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier