Beneq Oy - Thin Film Equipment logo.

TFS 1200 Thin Film Nedfall System fra Beneq

TFS 1200 Thin Film Nedfall System fra Beneq

Den Beneq TFS 1200 er en ALD prosessmodul som er integrert i CIGS fordampning eller rask termisk prosessering (RTP) selenization linjer. Deponering tid for en 30 nm tykk Zn (O, S) buffer laget er mindre enn 5 min. ALD er mer kompakte og billigere enn konvensjonelle CBD-CdS buffer layer prosesser.

Den Beneq TFS 1200 er et program-spesifikke system designet for industriell in-line produksjon av buffer layer belegg på kobber-indium-gallium-diselenide (CIGS) tynnfilm solceller. Den maksimale underlaget størrelse er 1200 × 1200 (mm), en anerkjent verden-rekord i substrat størrelse i ALD.

Other Equipment by this Supplier