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TFS 1200 Sistema de Deposição de Thin Film Beneq

O Beneq TFS 1200 é um módulo de processamento de ALD, que está integrado no CIGS evaporação ou processamento térmico rápido (RTP) linhas selenization. Tempo de deposição para a 30 nm de espessura Zn camada buffer (O, S) é inferior a 5 min. ALD é mais compacto e menos caro que o convencional CBD-CdS processos da camada buffer.

O Beneq TFS 1200 é uma aplicação específica do sistema projetado para a produção em linha industrial de revestimentos de camada tampão de cobre-índio-gálio-disseleneto filme (CIGS) fina de células solares. O tamanho máximo é de substrato de 1200 × 1200 (mm), um reconhecido recorde mundial em tamanho substrato em ALD.

Last Update: 3. October 2011 12:34

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