Система Низложения Тонкого Фильма TFS 1200 от Beneq

Система Низложения Тонкого Фильма TFS 1200 от Beneq

Beneq TFS 1200 ALD обрабатывая модуль который интегрирован в испарение CIGS или быстрый восходящий поток теплого воздуха обрабатывая (RTP) линии selenization. Время Низложения для 30 амортизирующих слоев Zn nm толщиных (O, S) чем 5 минимальных ALD более компактны и более менее дороги чем обычные процессы амортизирующего слоя CBD-Компактных дисков.

Beneq TFS 1200 специфическая для приложения система конструированная для промышленной встроенной продукции покрытий амортизирующего слоя на фотоэлементах тонкого фильма мед-инди-галлия-diselenide (CIGS). Максимальный размер субстрата × 1200 1200 (mm), узнанный мировой рекорд в размере субстрата в ALD.

Last Update: 11. January 2012 06:29

Other Equipment by this Supplier