Система Низложения Тонкого Фильма TFS 1200 от Beneq

Beneq TFS 1200 ALD обрабатывая модуль который интегрирован в испарение CIGS или быстрый восходящий поток теплого воздуха обрабатывая (RTP) линии selenization. Время Низложения для 30 амортизирующих слоев Zn nm толщиных (O, S) чем 5 минимальных ALD более компактны и более менее дороги чем обычные процессы амортизирующего слоя CBD-Компактных дисков.

Beneq TFS 1200 специфическая для приложения система конструированная для промышленной встроенной продукции покрытий амортизирующего слоя на фотоэлементах тонкого фильма мед-инди-галлия-diselenide (CIGS). Максимальный размер субстрата × 1200 1200 (mm), узнанный мировой рекорд в размере субстрата в ALD.

Last Update: 11. January 2012 06:29

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment