Beneqen TFS 1200 är en ALD som bearbetar enheten som integreras in i CIGSavdunstning, eller den termiska bearbeta selenizationen (RTP) för foren fodrar. Avlagringtid för 30 tjock Zn som för nm (Nolla, S) fungera som buffert lagrar, är mindre än minut 5. ALD är mer överenskommelse och mindre dyr, än konventionella CBD-CdS fungera som buffert lagrar bearbetar.
Beneqen TFS 1200 är ettnärmare detalj system som planläggs för industriellt, i-fodrar produktion av fungera som buffert lagrarbeläggningar på tunn förkoppra-indium-gallium-diselenide (CIGS) filmar sol- celler. Maximat substrate storleksanpassar är × 1200 1200 (en mm), ett igenkänt världsrekord i substrate storleksanpassar i ALD.