TFS 1200 薄膜从 Beneq 的证言系统

Beneq TFS 1200 是处理是集成到处理 selenization 线路的香烟蒸发或迅速上升暖流的模块的 ALD。 一块 30 块毫微米厚实的锌 (O, S) 缓冲层的证言时间少于 5 个最少的 ALD 比常规 CBD CdS 缓冲层进程更加紧凑和较低花费是。

Beneq TFS 1200 是为缓冲在铜铟镓diselenide (香烟) 薄膜太阳能电池的层涂层的行业轴向生产设计的一个有特殊用途的系统。 最大基体范围是 1200 × 1200 (mm),在基体范围的一个被认可的世界记录在 ALD。

Last Update: 11. January 2012 06:13

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