Система Тонкого Фильма TFS NX300 польностью автоматическая система покрытия конструированная для изготавливания промышленного масштаба покрытий поверхностной запассивированности на кристаллических вафлях фотоэлемента кремния.
TFS NX300 показывает следующие главным образом свойства:
- Промышленное полн-автоматизированное производственное оборудование
- Автоматическая система кассет-к-кассеты
- Объём 3200 wafers/h
- Детальный вопрос настроения к спецификациям клиента