Halbautomatisierte Heiße PrägungsAnlage - das EVG520HE von EV-Gruppe

Die Halbautomatisierte Heiße PrägungsAnlage EVG520HE ist für die Prägungsund nanoimprinting Anwendungen bestimmt. Diese Produktion-erwiesene Anlage von EVG nimmt Substratflächen bis 200 mm an und ist mit Standardhalbleiterfertigungstechniken kompatibel.

Die heiße Prägungsanlage wird mit den Hochvakuum-, der hohen Temperatur und Hochkontakt Kraft Fähigkeiten einer Universalprägungskammer, konfiguriert und die ganze Reichweite der Polymere und einiger Gläser handhabt, die für die heiße Prägung geeignet sind. Zusammen mit der Hochaspekt Verhältnisprägung und den mehrfachen de-Prägungsoptionen werden viele Prozesse für Musterübertragung der hohen Qualität und nm-Auflösung angeboten.

Merkmale der Halbautomatisierten Heißen PrägungsAnlage EVG520HE umfassen:

  • Für heiße Prägungsund nanoimprinting Anwendungen von Polymersubstratflächen und Drehbeschleunigung-auf Polymeren und Gläsern
  • Automatisierter Prägungsprozeß
  • Ausrichtungsprozeß Eigentümers EVGS unterschiedlicher für die optisch ausgerichtete Prägung und die Prägung
  • Pneumatische de-Prägungsoptionen
  • Ausführung des esteuerten Prozesses der Software
  • UV-NIL Option

Last Update: 11. January 2012 06:18

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