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Sistema Que Graba Caliente Semiautomatizado - El EVG520HE del Grupo de EV

El Sistema Que Graba Caliente Semiautomatizado de EVG520HE se diseña para las aplicaciones que graban y nanoimprinting. Este sistema producción-probado de EVG valida los substratos hasta 200 milímetros y es compatible con tecnologías de fabricación estándar del semiconductor.

El sistema que graba caliente se configura con capacidades de un compartimiento que graba universal, de alto vacío, de la temperatura alta y de la fuerza del alto-contacto y maneja el rango entero de los polímeros y de varios cristales convenientes para grabar caliente. Así como grabar de la relación de transformación del alto-aspecto y opciones de-que graban múltiples muchos procesos para la transferencia de alta calidad del modelo y la resolución del nanómetro se ofrecen.

Las Características del Sistema Que Graba Caliente Semiautomatizado de EVG520HE incluyen:

  • Para las aplicaciones que graban y nanoimprinting calientes de los substratos del polímero y barrena-en los polímeros y los cristales
  • Proceso que graba Automatizado
  • Proceso separado de la alineación del propietario de EVG para grabar y la impresión ópticamente alineados
  • Opciones de-que graban Neumáticas
  • Ejecución del proceso controlado del Software
  • Opción de UV-NIL

Last Update: 11. January 2012 06:30

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