EVG520HE puoliautomaattinen Hot Kohokuviointi System on suunniteltu kuviointikoneet ja nanoimprinting sovelluksia. Tämä tuotanto-osoittautunut järjestelmä EVG hyväksyy alustoissa aina 200 mm ja on yhteensopiva standardi puolijohteiden valmistustekniikoita.
Kuuma kohokuviointi järjestelmä on määritetty yleinen kohokuviointi kamari, korkea-tyhjiö, korkeassa lämpötilassa ja-kosketusvoima valmiuksia ja hallinnoi koko valikoiman polymeerejä ja useita Suojalasit kuuma kohokuviointi. Yhdessä korkean kuvasuhde kohopainatuslaatat ja useita de-kohokuviointi vaihtoehtoja monia prosesseja laadukkaita kuvio siirto ja nm resoluutio tarjotaan.
Ominaisuudet EVG520HE puoliautomaattinen Hot Kohokuviointi System sisältää:
- Kuuma kohokuviointi ja nanoimprinting sovelluksia polymeeri substraattien ja spin-polymeereihin ja lasit
- Automatisoitu kohokuviointi prosessi
- EVG n oma erillinen linjaus prosessi optisesti linjassa kohokuviointi ja painamista
- Pneumaattinen de-kohokuviointi vaihtoehtoja
- Ohjelmiston ohjattu prosessi toteuttamisen
- UV-NIL Option