EVG520HE Полуавтоматическая система горячего тиснения предназначен для тиснения и nanoimprinting приложений. Эта продукция проверенная система от EVG принимает подложки до 200 мм и совместим со стандартными технологиями производства полупроводников.
Система горячего тиснения настроен с универсальной камерой тиснение, высокого вакуума, высокой температуры и высокого контакта возможности сил и управляет целым рядом полимеров и несколько стаканов подходит для горячего тиснения. Вместе с высоким тиснением аспект соотношения и нескольких де-тиснение вариантов много процессов для высокой скорости передачи картины качества и разрешение нм предлагаются.
Особенности EVG520HE Полуавтоматическая система горячего тиснения включают в себя:
- Для горячего тиснения и nanoimprinting полимера подложки и спин-на полимеров и стекол
- Автоматизированный процесс тиснения
- Собственность отдельных EVG в процессе выравнивания для оптически согласованы тиснение и печать
- Пневматические де-тиснение варианты
- Программное обеспечение контролируемого процесса исполнения
- УФ-NIL Вариант