EVG520HE 半自動化的熱裝飾的系統為裝飾的和 nanoimprinting 的應用設計。 從 EVG 的此生產證明的系統接受基體 200 mm 并且是與標準半導體製造技術兼容。
熱裝飾的系統配置以一個通用裝飾的房間，高真空，高溫和高聯絡強制功能并且管理聚合物和幾塊玻璃的全部的範圍適用於熱裝飾。 與高方面比例裝飾和多個非裝飾的選項一起提供優質模式調用和 nm 解決方法的許多進程。
EVG520HE 半自動化的熱裝飾的系統的功能包括：
- 对聚合物基體的熱裝飾的和 nanoimprinting 的應用和空轉在聚合物和玻璃
- 自動化的裝飾的進程
- 光學上對齊的裝飾和印的 EVG 的業主單獨對準線進程
- 氣動力學的非裝飾的選項
- 軟件受控過程執行
- UV-NIL 選項