Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Save 20% On a Jenway 7315 Spectrophotometer from Bibby Scientific
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Automatisierte UV-NIL Nanoimprintlithographie System - Das IQ Aligner von EV Group

Der IQ Aligner Ultraviolet Nanoimprintlithographie (UV-NIL) System ermöglicht Mikroformen und Nanoimprint Prozesse mit Briefmarken und Wafer von 150 mm bis 300mm Durchmesser. Uniform Anpresskraft für High Yield großflächigen Druck wird durch proprietäre chuck EV Group Design, das sowohl weiche als auch harte Briefmarken unterstützt zur Verfügung gestellt. Konfigurationen gehören Auslösemechanismen für Briefmarken aus eingeprägt Substraten.

Merkmale des IQ Aligner UV-NIL-System

  • Für Mikroformen Anwendungen von optischen Elementen
  • Für das Gesamtjahr Bereich Nanoimprint Anwendungen
  • 3 unabhängig z-Spindeln für überlegene Keil Ausgleich zwischen Stempel und Substrat gesteuert
  • 3 unabhängig gesteuerten z-Spindeln für TTV Kontrolle der Impressumspflicht widerstehen
  • Soft UV-NIL-Prozesse nutzen soft arbeitet Briefmarken
  • EVG-eigenen vollautomatischen de-Prägung Funktion
  • Resist verzichten Station Integration
  • Bond Ausrichtung und UV-Bonding-Fähigkeiten

Last Update: 30. October 2011 00:17

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment