Automatizado UV-NIL nanoimpresión sistema de litografía - El alineador CI de EV Grupo

El IQ Alineador litografía ultravioleta nanoimpresión (UV-NIL) del sistema permite micromoldeado nanoimpresión y procesos con los sellos y las obleas de 150 mm de diámetro 300 mm. Fuerza de contacto uniforme para impresión de alto rendimiento de área grande es proporcionada por diseño propio EV Grupo plato que soporta sellos blandos y duros. Las configuraciones incluyen mecanismos de liberación de sellos a partir de sustratos impresos.

Características de la IQ Alineador UV-NIL sistema

  • Para aplicaciones micromoldeado de elementos ópticos
  • Para aplicaciones de campo completo nanoimpresión
  • 3 controlados de forma independiente z-husillos para la compensación de cuña superior entre el sello y el sustrato
  • 3 controlados de forma independiente z-ejes para TTV control de huella resistir
  • Soft UV-NIL los procesos de utilización de sellos suaves de trabajo
  • De propiedad totalmente automatizado EVG-de relieve la función
  • Resistir a prescindir de la integración de la estación
  • Vínculo de unión de alineación y UV-capacidades

Last Update: 4. October 2011 01:51

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