Sistema Automatizzato di Litografia di UV-NIL Nanoimprint - Il Aligner di QUOZIENTE D'INTELLIGENZA dal Gruppo di EV

Il Sistema Ultravioletto della Litografia di Nanoimprint del Aligner di QUOZIENTE D'INTELLIGENZA (UV-NIL) tiene conto i trattamenti micromolding e nanoimprinting con i bolli ed i wafer da 150 millimetri al diametro di 300mm. La forza Costante del contatto per alta stampa di ampia area del rendimento è fornita da progettazione privata del mandrino del Gruppo di EV che supporta sia la morbidezza che i bolli duri. Le Configurazioni comprendono i meccanismi di versione per i bolli dai substrati impressi.

Funzionalità del Sistema del Aligner UV-NIL di QUOZIENTE D'INTELLIGENZA

  • Per le applicazioni micromolding degli elementi ottici
  • Per le applicazioni nanoimprinting del campo completo
  • 3 z-assi di rotazione indipendente controllati per la compensazione superiore del cuneo fra il bollo ed il substrato
  • 3 z-assi di rotazione indipendente controllati per controllo di TTV dell'impronta resistono a
  • Trattamenti Morbidi di UV-NIL che utilizzano i bolli di funzionamento di morbidezza
  • Funzione digoffratura completamente automatizzata del proprietario di EVG
  • Resist dispensa l'integrazione della stazione
  • Capacità Schiave di UV-legame e di allineamento

Last Update: 11. January 2012 06:20

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