자동 UV 대 0 Nanoimprint 리소그래피 시스템 - EV 그룹에서 IQ Aligner

IQ Aligner의 자외선의 Nanoimprint 리소그래피 (UV - 전무) 시스템은 300mm 직경 150mm에서 우표와 웨이퍼와 프로세스를 micromolding 및 nanoimprinting을 허용합니다. 높은 수율 넓은 지역 인쇄 균일한 접촉 힘이 소프트와 하드 모두 우표를 지원하는 EV 그룹의 독자적인 척 설계에 의해 제공됩니다. 구성 인쇄 기판의 우표에 대한 릴리스 메커니즘을 포함합니다.

특징 IQ Aligner UV - 전무 시스템

  • 광학 요소의 micromolding 애플 리케이션을위한
  • 전체 필드 nanoimprinting 응용 프로그램에
  • 3 독립적 스탬프와 기판 사이의 우수한 쐐기 보상 Z - 스핀들을 제어
  • 인쇄물의 TTV 제어 3 독립적으로 제어 Z - 스핀들은 저항
  • 부드러운 작동 우표를 이용한 소프트 UV 대 0으로 처리
  • EVG의 독점 완전 자동 드 엠보싱 기능
  • 역 통합을 분배 저항
  • 본드 정렬 및 UV - 본딩 기능

Last Update: 9. October 2011 03:17

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