El sistema automatizado Distancia Infinita de la litografía del nanoimprint EVG6200 es la culminación mapa itinerario de la alineador-tecnología del Grupo de EV del nuevo. Una variedad de sellos y de tallas de los substratos de 75mm--200mm a se pueden acomodar en la Distancia Infinita EVG6200 para las aplicaciones de la litografía del nanoimprint.
Ofrece el Sistema automatizado Distancia Infinita de la NADA EVG6200
- Litografía de Nanoimprint e impresión de contacto micra
- Exposición de la luz UV
- Útiles Dedicados para UV-NIL
- Alojamiento de sellos suaves y duros
- Tipo de substratos: Si, cristal, semiconductores compuestos