Le EVG6200 Infinity système automatisé de lithographie par nano-impression est l'aboutissement de l'EV Groupe aligneur nouvelle technologie feuille de route. Une variété de timbres et de tailles de supports de 75mm à 200mm-peuvent être logés sur le Infinity EVG6200 pour les applications de lithographie par nano-impression.
Caractéristiques du EVG6200 Infinity Système automatisé NIL
- Nanolithographie et l'impression de contact micro
- Exposition à la lumière UV
- Outillages dédiés pour UV-NIL
- Hébergement de timbres à la fois doux et dur
- Type de substrats: Si, en verre, composé semi-conducteurs