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Système automatisé de nanolithographie - L'Infini EVG6200 d'EV Groupe

Le EVG6200 Infinity système automatisé de lithographie par nano-impression est l'aboutissement de l'EV Groupe aligneur nouvelle technologie feuille de route. Une variété de timbres et de tailles de supports de 75mm à 200mm-peuvent être logés sur le Infinity EVG6200 pour les applications de lithographie par nano-impression.

Caractéristiques du EVG6200 Infinity Système automatisé NIL

  • Nanolithographie et l'impression de contact micro
  • Exposition à la lumière UV
  • Outillages dédiés pour UV-NIL
  • Hébergement de timbres à la fois doux et dur
  • Type de substrats: Si, en verre, composé semi-conducteurs

Last Update: 14. October 2011 19:14

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