EVG6200 इन्फिनिटी स्वचालित प्रणाली लिथोग्राफी nanoimprint EV समूह के नए aligner प्रौद्योगिकी रोडमैप की परिणति है . टिकटों और 75mm-200mm से substrates के आकार की एक किस्म पर EVG6200 इन्फिनिटी nanoimprint अश्मलेखन अनुप्रयोगों के लिए समायोजित किया जा सकता है .
सुविधाएँ EVG6200 इन्फिनिटी स्वचालित शून्य सिस्टम
- Nanoimprint लिथोग्राफी और सूक्ष्म संपर्क मुद्रण
- यूवी प्रकाश जोखिम
- यूवी शून्य के लिए समर्पित टूलींग
- दोनों नरम और कड़ी टिकटों के आवास
- Substrates के प्रकार: सी, कांच, यौगिक अर्धचालकों