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स्वचालित Nanoimprint लिथोग्राफी सिस्टम - इन्फिनिटी EVG6200 से EV समूह

EVG6200 इन्फिनिटी स्वचालित प्रणाली लिथोग्राफी nanoimprint EV समूह के नए aligner प्रौद्योगिकी रोडमैप की परिणति है . टिकटों और 75mm-200mm से substrates के आकार की एक किस्म पर EVG6200 इन्फिनिटी nanoimprint अश्मलेखन अनुप्रयोगों के लिए समायोजित किया जा सकता है .

सुविधाएँ EVG6200 इन्फिनिटी स्वचालित शून्य सिस्टम

  • Nanoimprint लिथोग्राफी और सूक्ष्म संपर्क मुद्रण
  • यूवी प्रकाश जोखिम
  • यूवी शून्य के लिए समर्पित टूलींग
  • दोनों नरम और कड़ी टिकटों के आवास
  • Substrates के प्रकार: सी, कांच, यौगिक अर्धचालकों

Last Update: 10. October 2011 16:12

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