EVG6200 無限によって自動化される nanoimprint の石版印刷システムは EV のグループの新しいアライナ技術の道路地図の子午線通過です。 取り扱うことができます 75mm に200mm からのいろいろなスタンプそして基板のサイズは nanoimprint の石版印刷アプリケーションのための EVG6200 無限で。
EVG6200 無限によって自動化される無システムを特色にします
- Nanoimprint の石版印刷およびマイクロ密着焼付法
- 紫外線の露出
- UV-NIL のための専用工具細工
- 柔らかく、堅いスタンプの調節
- タイプの基板: Si のガラス、化合物半導体