EVG6200 무한대 자동의 nanoimprint 리소그래피 시스템은 EV 그룹의 새로운 aligner 기술 로드맵의 절정이다. 75mm 대 200mm에서 스탬프와 기판 크기의 다양한에서 수용 수 있습니다 EVG6200 무한대 nanoimprint 리소그래피 응용 프로그램에.
기능 EVG6200 무한대 자동으로 전무 시스템
- Nanoimprint 리소그래피와 마이크로 접촉 인쇄
- 자외선 노출
- UV 대 0 전용 공구
- 소프트와 하드 두 우표의 숙박 시설
- 기판의 종류 : 씨, 유리, 화합물 반도체