O sistema automatizado Infinidade da litografia do nanoimprint EVG6200 é o ponto culminante do mapa rodoviário novo da alinhador-tecnologia do Grupo de EV. Uma variedade de selos e tamanhos das carcaças de 75mm--200mm ao podem ser acomodados na Infinidade EVG6200 para aplicações da litografia do nanoimprint.
Caracteriza o Sistema automatizado Infinidade do NADA EVG6200
- Litografia de Nanoimprint e micro impressão de contacto
- Exposição à luz UV
- Trabalho feito com ferramentas Dedicado para UV-NIL
- Acomodação de selos macios e duros
- Tipo de carcaças: Si, vidro, semicondutores compostos