Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Αυτοματοποιημένη Λιθογραφία Stepper Nanoimprint - Το EVG770 Μηδέν Stepper από EV ομάδας

EVG770 Αυτοματοποιημένη Λιθογραφία EV Ομίλου Nanoimprint (μηδενικό) Stepper είναι σχεδιασμένο για το βήμα και επαναλάβετε μεγάλη περιοχή UV-Nanoimprint Λιθογραφία (UV-NIL) διαδικασίες συμβατές για 100 mm έως 300 χιλιοστά γκοφρέτες. Η NIL Stepper καλύπτει εφαρμογές όπως της επιστήμης της ζωής, οπτικά στοιχεία, mastering, 3D-λιθογραφία και Ε & Α για συσκευές ημιαγωγών.

Χαρακτηριστικά της EVG770 Αυτοματοποιημένη Μηδέν Stepper περιλαμβάνουν:

  • Αποτύπωση κενού σε ίνες-on πολυμερές στρώμα, το οποίο εξαλείφει τα θέματα ελάττωμα που προκαλείται από παγιδευμένο αέρα φυσαλίδες, οδηγώντας τελικά στην ανώτερη μοτίβο πιστότητα
  • Οπτικοί αισθητήρες που εναρμονίζουν τη σφραγίδα και πλακιδίων σε τέλεια αντιστοιχία για την επαφή χωρίς αποζημίωση σφήνα
  • Chuck κίνηση μέσω ενός συστήματος που φέρει χωρίς επαφή με τη μείωση της μόλυνσης των σωματιδίων
  • Υψηλής ακρίβειας σύστημα ευθυγράμμισης με ακρίβεια μέσα σε + / -500 nm? Καλών Ευθυγράμμιση: 50nm (προαιρετικά)
  • Φορτίο-κυττάρων μέτρηση της ανάγλυφης εκτύπωσης / de-ανάγλυφη δύναμη, τη βελτίωση της ομοιομορφίας αποτύπωμα και την αξιοπιστία της διαδικασίας λόγω ενεργό έλεγχο δύναμης και επιτρέποντας σε πραγματικό χρόνο, in-situ χαρακτηρισμός των διαφόρων που διατίθενται στο εμπόριο αντιστέκεται και αντι-κολλήσει στρώματα
  • Ευέλικτη επίπεδα αυτοματισμού εξοπλισμό, καθιστώντας το Μηδέν Stepper, μια εύκολη και οικονομική μετάβαση από την Ε & Α στις μικρές ή υψηλού όγκου παραγωγής
  • De facto παράγοντας μορφής πρότυπο για να μειωθεί ο χρόνος ολοκλήρωσης κατασκευής
  • Δυνατότητα να στηρίξουν μια σειρά από εμπορικά διαθέσιμο αντιστέκεται με διαφορετικό ιξώδες μεταξύ 1 έως αρκετά 1000 mPas, τη βελτίωση της ευελιξίας της διαδικασίας για τις πολύ μικρές γείσο και nanopatterning

Last Update: 18. October 2011 12:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment