Αυτοματοποιημένη Λιθογραφία Stepper Nanoimprint - Το EVG770 Μηδέν Stepper από EV ομάδας

Αυτοματοποιημένη Λιθογραφία Stepper Nanoimprint - Το EVG770 Μηδέν Stepper από EV ομάδας

EVG770 Αυτοματοποιημένη Λιθογραφία EV Ομίλου Nanoimprint (μηδενικό) Stepper είναι σχεδιασμένο για το βήμα και επαναλάβετε μεγάλη περιοχή UV-Nanoimprint Λιθογραφία (UV-NIL) διαδικασίες συμβατές για 100 mm έως 300 χιλιοστά γκοφρέτες. Η NIL Stepper καλύπτει εφαρμογές όπως της επιστήμης της ζωής, οπτικά στοιχεία, mastering, 3D-λιθογραφία και Ε & Α για συσκευές ημιαγωγών.

Χαρακτηριστικά της EVG770 Αυτοματοποιημένη Μηδέν Stepper περιλαμβάνουν:

  • Αποτύπωση κενού σε ίνες-on πολυμερές στρώμα, το οποίο εξαλείφει τα θέματα ελάττωμα που προκαλείται από παγιδευμένο αέρα φυσαλίδες, οδηγώντας τελικά στην ανώτερη μοτίβο πιστότητα
  • Οπτικοί αισθητήρες που εναρμονίζουν τη σφραγίδα και πλακιδίων σε τέλεια αντιστοιχία για την επαφή χωρίς αποζημίωση σφήνα
  • Chuck κίνηση μέσω ενός συστήματος που φέρει χωρίς επαφή με τη μείωση της μόλυνσης των σωματιδίων
  • Υψηλής ακρίβειας σύστημα ευθυγράμμισης με ακρίβεια μέσα σε + / -500 nm? Καλών Ευθυγράμμιση: 50nm (προαιρετικά)
  • Φορτίο-κυττάρων μέτρηση της ανάγλυφης εκτύπωσης / de-ανάγλυφη δύναμη, τη βελτίωση της ομοιομορφίας αποτύπωμα και την αξιοπιστία της διαδικασίας λόγω ενεργό έλεγχο δύναμης και επιτρέποντας σε πραγματικό χρόνο, in-situ χαρακτηρισμός των διαφόρων που διατίθενται στο εμπόριο αντιστέκεται και αντι-κολλήσει στρώματα
  • Ευέλικτη επίπεδα αυτοματισμού εξοπλισμό, καθιστώντας το Μηδέν Stepper, μια εύκολη και οικονομική μετάβαση από την Ε & Α στις μικρές ή υψηλού όγκου παραγωγής
  • De facto παράγοντας μορφής πρότυπο για να μειωθεί ο χρόνος ολοκλήρωσης κατασκευής
  • Δυνατότητα να στηρίξουν μια σειρά από εμπορικά διαθέσιμο αντιστέκεται με διαφορετικό ιξώδες μεταξύ 1 έως αρκετά 1000 mPas, τη βελτίωση της ευελιξίας της διαδικασίας για τις πολύ μικρές γείσο και nanopatterning

Last Update: 18. October 2011 12:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier