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Litografía Automatizada de Nanoimprint De Pasos - La NADA EVG770 De Pasos de Grupo de EV

La Litografía Automatizada EVG770 de Nanoimprint del Grupo de EV (NIL) De Pasos se diseña para los procesos Ultravioleta-Nanoimprint de la Litografía de la área extensa del paso de progresión y de la repetición (UV-NIL) compatibles para 100 milímetros hasta los fulminantes de 300 milímetros. Las aplicaciones De Pasos de las tapas de la NADA tienen gusto de las ciencias de la vida, de los componentes ópticos, de dominar, de 3D-Lithography y del R&D para los dispositivos de semiconductor.

Las Características del EVG770 Automatizaron la NADA De Pasos incluyen:

  • Aspire la impresión en a hacer girar-en la capa del polímero, que elimina las ediciones del defecto causadas por las burbujas-final atrapadas del aire dando por resultado fidelidad superior del modelo
  • Sensores Ópticos que alinean el sello y el fulminante en el paralelismo perfecto para la remuneración contacto-libre de la cuña
  • Descarte el movimiento vía un sistema sin contacto del rodamiento para reducir la contaminación de la partícula
  • Sistema De Alta Precisión de la alineación con exactitud dentro +/--500 nanómetro; Alineación Fina: 50nm (opcional)
  • la medición de la Carga-Célula de la fuerza, de mejorar la uniformidad de la impresión y la confiabilidad del proceso debido al mando de fuerza activa y de tener en cuenta la caracterización en tiempo real, "in-situ" de diverso disponible en el comercio resiste y de anti-adherir de embossing/de-embossing capas
  • Niveles Flexibles de la automatización del equipo, haciendo la NADA De Pasos, una transición fácil y económica del R&D a la fabricación pequeña o en grandes cantidades
  • Factor de forma De hecho del modelo para acortar el tiempo de vuelta de la fabricación
  • La Capacidad para utilizar un ordenador principal de disponible en el comercio resiste con viscosidades diversas entre 1 a varios 1.000 mPas, mejorando la adaptabilidad de proceso para la moldura micra y nanopatterning

Last Update: 11. January 2012 06:30

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