Geautomatiseerde Stepper van de Lithografie Nanoimprint - Stepper van de NUL EVG770 van Groep EV

EV wordt Stepper van de Lithografie Nanoimprint van de Groep EVG770 (NIL) Geautomatiseerde ontworpen voor stap en herhaalt de processen uv-Nanoimprint van de Lithografie van groot gebieds (uv-NUL) compatibel voor 100 mm tot 300 mmwafeltjes. Stepper van de NUL behandelt toepassingen zoals het levenswetenschap, optische componenten, het beheersen, 3D-lithografie en R&D voor halfgeleiderapparaten.

De Eigenschappen van EVG770 Geautomatiseerde Stepper van de NUL omvatten:

  • Het Vacuüm stempelen op een spinnen- polymeerlaag, die tekortkwesties elimineert die door de opgesloten lucht worden veroorzaakt bel-uiteindelijk resulterend in superieure patroontrouw
  • Optische sensoren die de zegel en het wafeltje in perfect parallellisme voor contact-vrije wigcompensatie richten
  • De beweging van de Klem via een niet-contact dragend systeem om deeltjesverontreiniging te verminderen
  • High-precision groeperingssysteem met nauwkeurigheid binnen +/500 NM; Fijne Groepering: 50nm (facultatief)
  • De lading-Cel meting van embossing/de-in reliëf makende kracht, het verbeteren van afdrukuniformiteit en procesbetrouwbaarheid toe te schrijven aan actieve krachtcontrole en het toestaan voor karakterisering in real time, in situ van diverse in de handel verkrijgbaar verzet tegenzich en anti-plakt lagen
  • Flexibele apparatuur automatiseringsniveaus, die Stepper van de NUL, een gemakkelijke en economische overgang van R&D maken aan kleine of high-volume productie
  • De De facto factor van de malplaatjevorm om de tijd van het vervaardigingskeerpunt te verkorten
  • Het Vermogen om een gastheer van in de handel verkrijgbaar te steunen verzet tegenzich met variërende viscositeit tussen 1 aan verscheidene 1.000 mPas, verbeterend procesflexibiliteit voor en micro die vormen nanopatterning

Last Update: 11. January 2012 06:15

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment