Litografia Automatizada de Nanoimprint Deslizante - O NADA EVG770 Deslizante do Grupo de EV

A Litografia Automatizada EVG770 do Nanoimprint do Grupo de EV (NIL) Deslizante é projectada para os processos Uv-Nanoimprint da Litografia da grande área da etapa e da repetição (UV-NIL) compatíveis para 100 milímetros até bolachas de 300 milímetros. As aplicações Deslizantes das tampas do NADA gostam da ciência da vida, de componentes ópticos, do domínio, do 3D-Lithography e do R&D para dispositivos de semicondutor.

As Características do EVG770 Automatizaram o NADA Deslizante incluem:

  • Limpe a impressão na girar-na camada do polímero, que elimina as edições do defeito causadas por bolhas-final prendidas do ar tendo por resultado a fidelidade superior do teste padrão
  • Sensores Ópticos que alinham o selo e a bolacha no paralelismo perfeito para a compensação contacto-livre da cunha
  • Lance o movimento através de um sistema do rolamento do não-contacto para reduzir a contaminação da partícula
  • Sistema do alinhamento da Elevada precisão com precisão dentro +/--500 nanômetro; Alinhamento Fino: 50nm (opcional)
  • a medida da Carga-Pilha da força, de melhorar a uniformidade da impressão e a confiança do processo devido ao controle de força activa e de permiti-los o tempo real, caracterização in situ de vário disponível no comércio resiste e de anti-colar de embossing/de-embossing camadas
  • Níveis Flexíveis da automatização do equipamento, fazendo o NADA Deslizante, uma transição fácil e econômica do R&D à fabricação pequeno- ou do volume alto
  • Factor de formulários De facto do molde para encurtar o tempo de resposta da fabricação
  • A Capacidade para apoiar um anfitrião de disponível no comércio resiste com viscosidades de variação entre 1 a diversos 1.000 mPas, melhorando a flexibilidade do processo para o micro molde e nanopatterning

Last Update: 11. January 2012 06:27

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