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自動化的納米壓印光刻步進 - EVG770無步進電動車組

步驟是專為電動車組的EVG770自動化納米壓印光刻(NIL)的步進和重複大面積紫外納米壓印光刻技術(UV - NIL)為100毫米到300毫米晶圓兼容的過程。無步進涵蓋了生命科學,光學元件,掌握,三維光刻技術和半導體器件的研發應用。

EVG770自動化無步進的功能包括:

  • 真空印跡上紡聚合物層,從而消除了被困的空氣氣泡造成的缺陷問題,最終在優越的圖案逼真
  • 無接觸式楔形補償成完美的並行排列的郵票和晶圓的光學傳感器
  • 查通過非接觸式軸承系統的運動,以減少顆粒污染
  • 高精度定位系統精度在+ / -500納米精密對準:50納米(可選)
  • 負載單元測量壓花 / DE壓印力,改善印記的統一性和過程的可靠性,由於活躍的力量控制,並允許實時,原位表徵各種市售抗和防粘層
  • 靈活的設備的自動化水平,使無步進,從 R&D的簡單和經濟的的過渡到小或大批量製造
  • 事實上模板形式的因素,縮短製造周轉時間
  • 支持市售的主機抵抗能力,不同的粘度介於 1至數千MPAS,改善微成型過程的靈活性和nanopatterning

Last Update: 4. October 2011 01:53

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