Masse und Energie-Analysegerät für Plasmadiagnostik - EQP von Hiden Analytisch

Das EQP-Massenspektrometer kombiniert ein elektrostatisches Sektorenergieanalysegerät mit einem Hochleistungsquadrupol-Massenfilter in einem Instrument, das für Plasmadiagnostik bestimmt ist. Das EQP kann die Massenspektren und die Energieverteilungen von neutralen Personen, von Radikale und von Ionen erwerben (positiv und negativ). Tendenzen in der Intensität können gegen Zeit grafisch dargestellt werden. Schnelle Datenerfassungsmodi bedeuten, dass Ausgleichströme und Nachgluten studiert werden können.

Konfiguration

Das EQP-Massenspektrometer ist ein PC-gesteuertes Instrument für Plasmaanalyse und -diagnosen. Spektren können unter Verwendung Windowsâ-„¢ basierter MASsoft-Software leicht erworben werden, gespeichert werden und manipuliert werden. Das EQP verwendet ein elektrostatisches Sektorbereich-Energieanalysegerät für Ionenenergieanalyse, die Übertragung und Auflösung dieser Einheit, die es das Instrument von der Wahl für Plasmadiagnostik herstellt.

Das Energieanalysegerät wird von einem dreifachen Kapitelquadrupol-Massenfilter gefolgt. Ein Impuls, der Sekundärelektronenvervielfacher zählt, den für positive oder negative Ionenoperation konfiguriert werden kann, wird für Ionenbefund verwendet. Dieser Detektor liefert hohe Empfindlichkeit, schnelle Antwort und hohe Dynamikwerte (>10)10 für Plasmaionen und -neutrale Personen. Massenreichweitenoptionen sind amu 300 amu, 510 amu, 1000 amu und 2500. Ein Energiebereich von das eV 100 eV ist und 1000 Standard, das, den Benutzer mit Analyse von positiven und negativen Ionen und von Auftrittspotentialspektren für Radikaleanalyse zu versehen wahlweise ist. Das Signal, das durch direkten TTL-Input mit einem Gatter versieht, ist auch mit mit einem Gatter versehender Auflösung für 1 µs für Nachglutstudien erhältlich.

Merkmale

  • Software steuerte IonenExtraktions-Optik für minimale Plasmastörung.
  • erhöht Elektrostatisches Analysegerät des Sektors 45°, Scan-Energie bei 0,05 eV 0.25eV FWHM.
  • Minimale Störung des Ionenflugweges u. der konstanten Ionenübertragung an aller Energie.
  • Differenzial gepumpter Dreifacher Filter Quadrupol, Masse zu 2500amu.
  • Hohes Empfindlichkeits-/Stabilitäts-Impuls-Ion, das Detektor mit den Dynamikwerten von 7 Jahrzehnt Zählt.
  • Melodisches integrales ioniser für Auftrittspotential MITGLIEDSTAAT mit Elektronanhangoption.
  • Einsperren des Anzeigeinstruments und der Verriegelungen, um über Druckschutz zur Verfügung zu stellen.
  • Signalisieren Sie mit einem Gatter versehende Auflösung 1ms für pulsierte Plasmen oder Energie u. Zeit der Massenverteilungen V.
  • 1000eV Option, Sich Hin- Und Herbewegende Option bis zu 10keV, Faraday-Auffänger für Plasmen mit hoher Schreibdichte.
  • Mumetall, Funk-Metall, das Optionen, Hochdruckoperationsoption abschirmt.
  • MASsoft-Regelung über RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

Betriebsart

Das EQP funktioniert in einem von zwei Modi:

  1. PU-Modus: Ionen können vom Plasma direkt extrahiert werden. Diese Plasmaionen (PI) werden im Plasma gebildet, extrahiert von ihm und fokussiert in den Energiefilter.
  2. E-IModus: Neutrale Personen und Radikale werden vom Plasma geprüft und ionisiert dann mit Niederdruck (10-5 Torr) innerhalb einer Elektronauswirkungs- (EI)Ionenquelle. Die Energie der ionisierenden Elektronen wird gesteuert möglicherweise, um den Befund von Radikale zu aktivieren. Ionen von der Elektronenstrahlquelle werden zuerst übertragen und fokussiert dann direkt in den Energiefilter.

Anwendungen

  • Ätzungs-/Absetzungs-Studien
  • Ionenimplantation/Laser Entfernung
  • RestGas-Analyse/Lecksuche
  • Plasmaelektrodenkupplung - folgen Sie Elektrodenzuständen während der Operation.
  • Analyse durch ein Darstellungsfeld, geerdete Elektrode, getriebene Elektrode

Last Update: 25. April 2013 13:17

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