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Analizador de la Masa y de la Energía para los Diagnósticos de Plasma - EQP de Hiden Analítico

El espectrómetro de masas de EQP combina un analizador electroestático de la energía del sector con un filtro de la masa del tetrapolo del alto rendimiento en un instrumento diseñado para los diagnósticos de plasma. El EQP puede detectar los espectros en masa y las distribuciones de la energía de líneas neutrales, de radicales y de iones (positivo y negativo). Las Tendencias en intensidad se pueden trazar contra tiempo. Los modos Rápidos de la adquisición significan que las corrientes momentáneas y las persistencias luminosas pueden ser estudiadas.

Configuración

El espectrómetro de masas de EQP es un instrumento controlado de la PC para el análisis y los diagnósticos del plasma. Los Espectros se pueden detectar, salvar y manipular fácilmente usando el software basado ¢ de MASsoft del „de Windowsâ. El EQP utiliza un analizador electroestático de la energía del campo del sector para el análisis de energía del ión, la transmisión y la resolución de este dispositivo que le hace el instrumento de la opción para los diagnósticos de plasma.

El analizador de la energía es seguido por un filtro triple de la masa del tetrapolo de la sección. Un multiplicador de electrón que cuenta del pulso, que se puede configurar para la operación del positivo o de la ión negativo se utiliza para la detección del ión. Este detector proporciona a alta sensibilidad, a la reacción rápida y al alto rango dinámico (>10)10 para los iones y las líneas neutrales del plasma. Las opciones En Masa del rango son el amu 300 el amu, 510 el amu, 1000 el amu y 2500. Un rango de la energía el eV 100 del eV es estándar y 1000 opcional proveer del utilizador el análisis del positivo y de iones negativo y espectros del potencial de aspecto para el análisis de los radicales. La Señal que bloquea por la entrada de información directa de TTL está también disponible con la resolución que bloquea para 1 µs para los estudios de la persistencia luminosa.

Características

  • El Software controló la Óptica de la Extracción del Ión para la perturbación mínima del plasma.
  • el analizador Electroestático del Sector 45°, Energía de la Exploración en 0,05 eV incrementa 0.25eV FWHM.
  • Perturbación Mínima del camino de vuelo del ión y de la transmisión constante del ión en todas las energías.
  • Tetrapolo Triple Diferenciado bombeado del filtro, masa a 2500amu.
  • Alto Ión del Pulso de la Sensibilidad/de la Estabilidad Que Cuenta el Detector con el rango dinámico de 7 décadas.
  • Ioniser integral Armonioso para el MS del potencial de aspecto con la opción del accesorio del electrón.
  • Encierro del Indicador y de interruptores de seguridad para proporcionar sobre la protección de la presión.
  • Haga Señales la resolución que bloquea 1ms por plasmas pulsadas o energía y tiempo de las distribuciones en masa v.
  • 1000eV Opción, opción Que Conecta hasta 10keV, Copa de Faraday para las plasmas de alta densidad.
  • MU-Metal, Radio-Metal que protege las opciones, opción de alta presión de la operación.
  • Mando de MASsoft vía RS232, RS485 o el LAN de Ethernet.

modo de operación

El EQP operatorio en uno de dos modos:

  1. Modo del PI: Los Iones se pueden extraer directamente del plasma. Estos iones del plasma (PI) se forman en el plasma, se extraen de ella y se enfocan en el filtro de la energía.
  2. Modo del E-I: Muestrean del plasma y después se ionizan a las Líneas Neutrales y los radicales en la presión inferior (10-5 torres) dentro de una fuente de ión (EI) del impacto del electrón. La energía de los electrones ionizantes se puede controlar para activar la detección de radicales. Los Iones de la fuente del haz electrónico primero se transfieren y en seguida se enfocan directamente en el filtro de la energía.

Aplicaciones

  • Estudios el Grabar El Ácido/de la Deposición
  • Ablación de la implantación de Ión/Laser
  • Detección Residual del Análisis/de Escape de Gas
  • Acoplamiento del electrodo del Plasma - siga las condiciones del electrodo durante la operación.
  • Análisis a través de un viewport, electrodo conectado a tierra, electrodo impulsado

Last Update: 25. April 2013 13:19

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