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Analyseur de la Masse et d'Énergie pour les Diagnoses Du Plasma - EQP de Hiden Analytique

Le spectromètre de masse d'EQP combine un analyseur électrostatique d'énergie de secteur avec un filtre de masse quadripolaire de haute performance dans un instrument conçu pour des diagnoses du plasma. L'EQP peut saisir les spectres de masse et les distributions d'énergie des points morts, des radicaux et des ions (positif et négatif). Des Tendances dans l'intensité peuvent être tracées contre le temps. Les modes Rapides de saisie signifient que des transitoires et les postluminescences peuvent être étudiés.

Configuration

Le spectromètre de masse d'EQP est un instrument Commandé par PC pour l'analyse et les diagnostics de plasma. Des Spectres peuvent être facilement saisis, enregistrés et manipulés utilisant le logiciel basé du „¢ MASsoft de Windowsâ. L'EQP utilise un analyseur électrostatique d'énergie de zone de secteur pour l'analyse d'énergie d'ion, la boîte de vitesses et la définition de ce dispositif lui effectuant l'instrument du choix pour des diagnoses du plasma.

L'analyseur d'énergie est suivi d'un filtre de masse quadripolaire de partie triple. Un multiplicateur d'électrons de compte de pouls, qui peut être configuré pour le fonctionnement positif ou négatif d'ion est utilisé pour le dépistage d'ion. Ce détecteur fournit la sensibilité élevée, la réaction rapide et la dynamique élevée (>10)10 pour des ions et des points morts de plasma. Les options De Masse de domaine sont l'amu 300 l'amu, 510 l'amu, 1000 l'amu et 2500. Un domaine d'énergie l'eV 100 de l'eV est normal et 1000 optionnel pour fournir à l'utilisateur l'analyse des ions et des spectres positifs et négatifs de potentiel d'aspect pour l'analyse de radicaux. Le Signe déclenchant par la puissance d'entrée directe de TTL est également disponible avec la définition de déclenchement à 1 µs pour des études de postluminescence.

Caractéristiques techniques

  • Le Logiciel a réglé le Bloc Optique d'Extraction d'Ion pour la perturbation minimum de plasma.
  • l'analyseur Électrostatique du Secteur 45°, Énergie d'Échographie à 0,05 eV incrémente 0.25eV FWHM.
  • Perturbation Minimum de boîte de vitesses de trajectoire de vol d'ion et d'ion de constante à toutes les énergies.
  • Quadrupôle Triple Différentiel pompé de filtre, la masse à 2500amu.
  • Ion Élevé de Pouls de Sensibilité/Stabilité Comptant le Détecteur avec la dynamique de 7 décennies.
  • Ioniser intégral Réglable pour la MILLISECONDE de potentiel d'aspect avec l'option de connexion d'électron.
  • Parquage de l'Outil et des sécurités pour fournir au-dessus de la protection de pression.
  • Signalez la définition 1ms de déclenchement pour les plasmas pulsés ou l'énergie et le temps des distributions de masse v.
  • 1000eV Option, option Flottante jusqu'à 10keV, Cuvette de Faraday pour les plasmas à haute densité.
  • Mumétal, Radio-Métal protégeant des options, option à haute pression de fonctionnement.
  • Contrôle de MASsoft par l'intermédiaire de RS232, de RS485 ou de LAN Ethernet.

mode de fonctionnement

L'EQP fonctionne dans un de deux modes :

  1. Mode de PI : Des Ions peuvent être directement extraits du plasma. Ces ions de plasma (PI) sont formés dans le plasma, extraits de lui et orientés dans le filtre d'énergie.
  2. Mode d'E-I : Des Points Morts et les radicaux sont échantillonnés du plasma et puis ionisés à la basse pression (10-5 torr) à l'intérieur d'une source d'ions (EI) d'incidence d'électron. L'énergie des électrons ionisants peut être réglée pour activer le dépistage des radicaux. Des Ions de la source de faisceau d'électrons sont d'abord transférés et ensuite orientés directement dans le filtre d'énergie.

Applications

  • Études Corroder/Dépôt
  • Ablation de l'implantation ionique/Laser
  • Dépistage Résiduel d'Analyse/Fuite de Gaz
  • Couplage d'électrode de Plasma - suivez les états d'électrode lors du fonctionnement.
  • Analyse par une clôture, électrode fondée, électrode pilotée

Last Update: 25. April 2013 13:17

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