Analizzatore di Energia e della Massa per i Sistemi Diagnostici di Plasma - EQP da Hiden Analitico

Lo spettrometro di massa di EQP combina un analizzatore elettrostatico di energia del settore con un filtro dalla massa del quadruplo di rendimento elevato in uno strumento progettato per i sistemi diagnostici di plasma. Il EQP può acquistare gli spettri di massa e le distribuzioni di energia delle posizioni di folle, dei radicali e degli ioni (positivo e negativo). Le Tendenze Relative all'intensità possono essere tracciate contro il tempo. I modi Veloci di acquisizione significano che i passeggeri e le postluminescenze possono essere studiati.

Configurazione

Lo spettrometro di massa di EQP è uno strumento Controllato da PC per l'analisi ed i sistemi diagnostici del plasma. Gli Spettri possono acquistarsi, memorizzati e manipolati facilmente facendo uso del software di MASsoft basato ¢ del „di Windowsâ. Il EQP usa un analizzatore elettrostatico di energia del campo del settore per l'analisi di energia dello ione, la trasmissione e la risoluzione di questa unità le che rende lo strumento della scelta per i sistemi diagnostici di plasma.

L'analizzatore di energia è seguito da un filtro triplo dalla massa del quadruplo della sezione. Un moltiplicatore di elettrone di conteggio di impulso, che può essere configurato per l'operazione positiva o negativa dello ione è usato per rilevazione dello ione. Questo rivelatore fornisce l'alta sensibilità, la risposta veloce e l'alta gamma dinamica (>10)10 per gli ioni e le posizioni di folle del plasma. Le opzioni Di Massa dell'intervallo sono amu 300 amu, 510 amu, 1000 amu e 2500. Un intervallo di energia eV 100 di eV è standard e 1000 facoltativo fornire all'utente l'analisi degli ioni positivi e negativi e degli spettri di potenziale di aspetto per l'analisi dei radicali. Il Segnale che gating dall'input ATTRAVERSO L'OBIETTIVO diretto è egualmente disponibile con risoluzione gating a 1 µs per gli studi di postluminescenza.

Funzionalità

  • Il Software ha gestito l'Ottica dell'Estrazione dello Ione per la perturbazione minima del plasma.
  • l'analizzatore Elettrostatico del Settore 45°, Energia di Scansione a 0,05 eV incrementa 0.25eV FWHM.
  • Perturbazione Minima della traiettoria dello ione & della trasmissione costante dello ione a tutte le energie.
  • Quadruplo Triplo Differenziale pompato del filtro, la massa a 2500amu.
  • Alto Ione di Impulso Stabilità/di Sensibilità che Conta Rivelatore con una gamma dinamica di 7 decadi.
  • Ioniser integrale Musicale per il MS di potenziale di aspetto con opzione del collegamento dell'elettrone.
  • Recinzione Calibro e dei collegamenti per fornire sopra protezione di pressione.
  • Segnali la risoluzione gating 1ms per i plasmi pulsati o l'energia & volta di distribuzioni di massa v.
  • 1000eV Opzione, opzione di Fluttuazione fino a 10keV, Faraday cup per i plasmi ad alta densità.
  • MU-Metallo, Radio-Metallo che protegge le opzioni, opzione ad alta pressione di operazione.
  • Controllo di MASsoft via RS232, RS485 o la LAN di Ethernet.

modo di funzionamento

Il EQP funziona in uno dei due modi:

  1. Modo di PI: Gli Ioni possono direttamente essere estratti dal plasma. Questi ioni del plasma (PI) sono formati nel plasma, sono estratti da e sono messi a fuoco nel filtro da energia.
  2. Modo di EI: Le Posizioni Di Folle ed i radicali sono campionati dal plasma e poi sono ionizzati a pressione bassa (10-5 torr) dentro una sorgente di ione (EI) di impatto dell'elettrone. L'energia degli elettroni di ionizzazione può essere gestita per permettere alla rilevazione dei radicali. Gli Ioni dalla sorgente del fascio di elettroni in primo luogo sono trasferiti e poi sono messi a fuoco direttamente nel filtro da energia.

Applicazioni

  • Studi Deposito/Incidere
  • Ablazione di Impiantazione ionica/Laser
  • Rilevazione Residua di Analisi/Perdita di Gas
  • Accoppiamento dell'elettrodo del Plasma - segua gli stati dell'elettrodo durante il funzionamento.
  • Analisi attraverso una vista, elettrodo a terra, elettrodo guidato

Last Update: 25. April 2013 13:18

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