血しょう診断 - 分析的な Hiden からの EQP のための大容量およびエネルギー検光子

血しょう診断 - 分析的な Hiden からの EQP のための大容量およびエネルギー検光子

EQP の質量分析計は血しょう診断のために設計されている器械の高性能の四重極の大容量フィルターによって静電気のセクターエネルギー検光子を結合します。 EQP はニュートラル、基およびイオンのマススペクトルそしてエネルギー分布を得ることができます (肯定的および否定的)。 強度の傾向は時間に対して計画することができます。 速い獲得のモードはトランジェントおよび残光が調査することができることを意味します。

構成

EQP の質量分析計は血しょう分析および診断のための PC 器械です。 スペクトルは Windowsâ の„の ¢ によって基づく MASsoft のソフトウェアを使用して容易に得られ、保存され、処理することができます。 EQP は血しょう診断のための選択のそれに器械をするこの装置のイオンエネルギー解析、伝達および解像度のために静電気のセクターフィールドエネルギー検光子を使用します。

エネルギー検光子は三重セクション四重極の大容量フィルターに先行しています。 肯定的か否定的なイオン操作のために設定することができるパルスの束縛電子の乗数、イオン検出のために使用されます。 この探知器は高い感度、速い応答および高いダイナミックレンジを提供します (>10)10 血しょうイオンおよびニュートラルのために。 多くの範囲オプションは 300 amu、 510 amu、 1000 amu および 2500 amu です。 任意選択 100 eV のエネルギー範囲は標準および 1000 の eV 基の分析に肯定的で、否定的なイオンおよび出現潜在性スペクトルの分析をユーザーに与えるためにです。 直接 TTL の入力によってゲートで制御するシグナルは残光の調査のために 1 µs にゲートで制御する解像度とまた使用できます。

機能

  • ソフトウェアは最小血しょう摂動のためのイオン抽出の光学を制御しました。
  • 45° 静電気のセクターの検光子、 0.05 の eV のスキャンエネルギーは 0.25eV FWHM を増分します。
  • すべてのエネルギーのイオン飛行経路及び一定したイオン伝達の最小の摂動。
  • 特異的にポンプでくまれた三重フィルター四重極、 2500amu への大容量。
  • 7 ディケイドのダイナミックレンジが付いている探知器を数える高い感度/安定性のパルスイオン。
  • 電子接続機構オプションの出現潜在性 MS のための調整可能で必要な ioniser。
  • ゲージおよび連結を圧力保護に提供するためにペンで書くこと。
  • 脈打った血しょうまたはエネルギー及び多く分布 v の時間のためのゲートで制御する 1ms 解像度に信号を送って下さい。
  • 1000eV オプション、 10keV の高密度血しょうのためのファラデーコップまでの浮遊オプション。
  • ミューメタル、オプション、高圧操作オプションを保護するラジオ金属。
  • RS232、 RS485 またはイーサネット LAN による MASsoft 制御。

動作モード

EQP は 2 つのモードの 1 つで動作します:

  1. PI のモード: イオンは血しょうから直接得ることができます。 これらの血しょうイオンは (PI)血しょうで形作られ、それから得られ、そしてエネルギーフィルターに集中します。
  2. EI のモード: ニュートラルおよび基は血しょうから見本抽出され、次に電子影響イオンソースの中の-5 低圧 (10 トル) でイオン化します。 イオン化の電子のエネルギーは基の検出を可能にするために制御されるかもしれません。 電子ビームソースからのイオンはエネルギーフィルターに最初に直接転送され、次に集中します。

アプリケーション

  • エッチング/沈殿調査
  • イオン・インプランテーション/レーザーの切除
  • 残りのガス分析/漏水検知
  • 血しょう電極のカップリング - 操作の間に電極の状態に続いて下さい。
  • ビューポートを通した分析、基づかせていた電極、運転された電極

Last Update: 25. April 2013 13:18

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