플라스마 진단 - 분석 Hiden에서 EQP를 위한 질량과 에너지 해석기

플라스마 진단 - 분석 Hiden에서 EQP를 위한 질량과 에너지 해석기

EQP 질량 분서계는 플라스마 진단을 위해 디자인된 계기에 있는 고성능 4극자 대량 필터와 정전기 전투지역 에너지 해석기를 결합합니다. EQP는 중립국, 급진파 및 이온의 질량 스펙트럼 그리고 에너지 배급을 취득할 수 있습니다 (긍정 부정). 강렬에 있는 동향은 시간에 대하여 음모를 꾸밀 수 있습니다. 단단 취득 최빈값은 대기병과 잔조가 공부될 수 있다는 것을 의미합니다.

윤곽

EQP 질량 분서계는 플라스마 분석과 진단을 위한 PC 통제 계기입니다. 스펙트럼은 Windowsâ „¢에 기지를 둔 MASsoft 소프트웨어를 사용하여 쉽게 취득되고, 저장되고 조작될 수 있습니다. EQP는 플라스마 진단을 위한 선택의 그것에게 계기를 만드는 이 장치의 이온 에너지 분석, 전송 및 해결책을 위해 정전기 전투지역 필드 에너지 해석기를 이용합니다.

에너지 해석기는 3배 단면도 4극자 대량 필터에 선행됩니다. 긍정 부정적인 이온 작동을 위해 구성될 수 있는 펄스 세는 전자 승수, 이온 탐지를 위해 사용됩니다. 이 검출기는 높은 감도, 단단 반응 및 높은 역학 범위를 제공합니다 (>10)10 플라스마 이온과 중립국을 위해. 대량 범위 선택권은 300 amu, 510 amu, 1000년 amu 및 2500 amu입니다. 선택 100 eV의 에너지 범위는 표준과 1000년 eV 급진파 분석을 긍정 및 부정적인 이온 및 출현 전위 스펙트럼의 분석을 사용자에게 제공하기 위하여 입니다. 직접 TTL 입력에 의하여 문을 다는 신호는 또한 잔조 연구 결과를 위해 1 µs에 문을 다는 해결책에 유효합니다.

특징

  • 소프트웨어는 최소한도 플라스마 섭동을 위한 이온 적출 광학을 통제했습니다.
  • 45° 정전기 전투지역 해석기, 0.05 eV에 검사 에너지는 0.25eV FWHM를 증가합니다.
  • 모든 에너지에 이온 비행 경로 & 일정한 이온 전송의 최소한도 섭동.
  • 미분으로 양수된 3배 필터 4중극, 2500amu에 질량.
  • 7 십년간 역학 범위를 가진 검출기를 세는 높은 감도/안정성 펄스 이온.
  • 전자 부착 선택권을 가진 출현 전위 MS를 위한 조정 가능한 완전한 ioniser.
  • 계기와 내부고정기를 압력 보호에 제공하기 위하여 쓰기.
  • 맥박이 뛴 플라스마 에너지 & 대량 배급 v 시간을 위한 문을 다는 1ms 해결책을 신호하십시오.
  • 1000eV 선택권, 10keV 의 고밀도 플라스마를 위한 Faraday 컵까지 뜨 선택권.
  • Mu 금속, 선택권, 고압 작동 선택권을 보호하는 라디오 금속.
  • RS232, RS485 또는 이더네트 근거리 통신망을 통해 MASsoft 통제.

작동 모드

EQP는 2개의 최빈값의 한에서 작동합니다:

  1. PI 최빈값: 이온은 플라스마에서 직접 추출될 수 있습니다. 이 플라스마 이온은 (PI) 플라스마에서 형성되고, 그것에서 추출되고 에너지 필터로 집중됩니다.
  2. EI 최빈값: 중립국과 급진파는 플라스마에서 간색되고 전자 충격 이온샘 안쪽에-5 저압 (10 torr)로 (EI) 그 후에 이온화됩니다. 이온화 전자의 에너지는 급진파의 탐지를 가능하게 하기 위하여 통제될 수 있습니다. 전자빔 근원에서 이온은 에너지 필터로 첫째로 직접 옮겨지고 그 후에 집중됩니다.

응용

  • 식각/공술서 연구 결과
  • 이온 주입/레이저 제거
  • 잔여 기체 분석/누출 탐지
  • 플라스마 전극 연결 - 작동 도중 전극 상태를 따르십시오.
  • 보임창을 통해서 분석, 지상에 놓인 전극, 몬 전극

Last Update: 25. April 2013 13:18

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