De Analisator van de Massa en van de Energie voor de Diagnostiek van het Plasma - EQP van Analytische Hiden

De EQP massaspectrometer combineert een elektrostatische analisator van de sectorenergie met een hoge prestatiesquadrupole massafilter in een instrument dat voor plasmadiagnostiek wordt ontworpen. EQP kan de massaspectrums en de energiedistributies van neutrals, basissen en ionen (positief en negatief) verwerven. De Tendensen in intensiteit kunnen tegen tijd worden in kaart gebracht. De Snelle aanwinstenwijzen betekenen dat de tijdelijke werkkrachten en de nagloeiing kunnen worden bestudeerd.

Configuratie

De EQP massaspectrometer is een PC gecontroleerd instrument voor plasmaanalyse en diagnostiek. De Spectrums kunnen gemakkelijk worden verworven, worden gemanipuleerd worden opgeslagen en gebruikend de gebaseerde software MASsoft van Windowsâ „¢. EQP gebruikt een elektrostatische de energieanalisator van het sectorgebied voor ionenenergieanalyse, de transmissie en resolutie die van dit apparaat tot het de maakt het instrument van keus voor plasmadiagnostiek.

De energieanalisator wordt gevolgd door een drievoudige sectiequadrupole massafilter. Een multiplicator van het impuls tellende elektron, die voor positieve of negatieve ionenverrichting kan worden gevormd wordt gebruikt voor ionenopsporing. Deze detector verstrekt hoge gevoeligheid, snelle reactie en hoge dynamische waaier (>1010) voor plasmaionen en neutrals. De de waaieropties van de Massa zijn amu 300, amu 510, amu 1000 en amu 2500. Een energiewaaier van eV 100 is standaard en eV 1000 facultatief om de gebruiker van analyse van positieve en negatieve ionen en verschijnings potentiële spectrums voor basissenanalyse te voorzien. Gating van het Signaal door de directe input van TTL is ook beschikbaar met gating resolutie aan 1 µs voor nagloeiingsstudies.

Eigenschappen

  • De Software gecontroleerde IonenOptica van de Extractie voor minimumplasmastoring.
  • 45° de Elektrostatische analisator van de Sector, de Energie van het Aftasten bij 0.05 eVtoename 0.25eV FWHM.
  • Minimum storing van ionenvliegroute & constante ionentransmissie bij alle energieën.
  • Differentially gepompte Drievoudige filterQuadrupole, massa aan 2500amu.
  • De Hoge Detector van de Impuls van de Gevoeligheid/van de Stabiliteit Ionen Tellende met 7 decennium dynamische waaier.
  • Integrale ioniser van Tuneable voor verschijnings potentiële LIDSTATEN met de optie van de elektronengehechtheid.
  • Het Opsluiten van Maat en koppelingen over drukbescherming te verstrekken.
  • Gating van het Signaal 1ms resolutie voor gepulseerd plasma of energie & massadistributies v keer.
  • 1000eV Optie, het Drijven optie tot 10keV, de Kop van Faraday voor hoogte - dichtheidsplasma.
  • Mu-metaal, de beveiligingsopties van het radio-Metaal, de optie van de hoge drukverrichting.
  • De controle van MASsoft via RS232, RS485 of LAN Ethernet.

wijze van verrichting

EQP werkt in één van twee wijzen:

  1. De Wijze van PI: De Ionen kunnen direct uit het plasma worden gehaald. Deze plasmaionen worden (PI) gevormd in het plasma, gehaald uit het en in de energiefilter geconcentreerd.
  2. De Wijze van EI: Neutrals en de basissen worden bemonsterd van het plasma en bij lage druk (10 torr)-5 binnen een ionenbron van het elektroneneffect (EI) dan geïoniseerd. De energie van de het ioniseren elektronen kan worden gecontroleerd om de opsporing van basissen toe te laten. De Ionen uit de elektronenstraalbron worden eerst overgebracht en in de energiefilter direct dan geconcentreerd.

Toepassingen

  • Het Etsen/de Studies van het Deposito
  • Ionenimplantatie/de Ablatie van de Laser
  • De de Overblijvende Analyse van het Gas/Opsporing van het Lek
  • De elektrodenkoppeling van het Plasma - volg elektrodenvoorwaarden tijdens verrichting.
  • Analyse door viewport, aan de grond gezete elektrode, gedreven elektrode

Last Update: 25. April 2013 13:17

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment