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Analisador da Massa e da Energia para os Diagnósticos de Plasma - EQP de Hiden Analítico

O espectrómetro em massa de EQP combina um analisador electrostático da energia do sector com um filtro da massa do quadrupole do elevado desempenho em um instrumento projetado para diagnósticos de plasma. O EQP pode adquirir os espectros em massa e as distribuições da energia dos pontos mortos, dos radicais e dos íons (positivo e negativo). As Tendências na intensidade podem ser traçadas contra o tempo. Os modos Rápidos da aquisição significam que os transeuntes e os arrebois da tarde podem ser estudados.

Configuração

O espectrómetro em massa de EQP é um instrumento controlado do PC para a análise e os diagnósticos do plasma. Os Espectros podem facilmente ser adquiridos, armazenado e manipulado usando o software baseado ¢ de MASsoft do „de Windowsâ. O EQP usa um analisador electrostático da energia do campo do sector para a análise de energia do íon, a transmissão e a definição deste dispositivo que faz lhe o instrumento da escolha para diagnósticos de plasma.

O analisador da energia é seguido por um filtro triplo da massa do quadrupole da secção. Um multiplicador de elétron da contagem do pulso, que possa ser configurado para a operação positiva ou negativa do íon é usado para a detecção do íon. Este detector fornece a sensibilidade alta, a resposta rápida e o alcance dinâmico alto (>1010) para íons e pontos mortos do plasma. As opções Em Massa da escala são o amu 300 o amu, 510 o amu, 1000 o amu e 2500. Uma escala da energia o eV 100 do eV é padrão e 1000 opcional fornecer o usuário a análise de íons positivos e negativos e de espectros do potencial de aparência para a análise dos radicais. O Sinal que bloqueia pela entrada directa de TTL está igualmente disponível com definição bloqueando a 1 µs para estudos do arrebol da tarde.

Características

  • O Software controlou o Sistema Ótico da Extracção do Íon para a perturbação mínima do plasma.
  • o analisador Electrostático do Sector 45°, Energia da Varredura em 0,05 eV incrementa 0.25eV FWHM.
  • Perturbação Mínima do trajecto de vôo do íon & da transmissão constante do íon em todas as energias.
  • Quadrupole Triplo Diferencial bombeado do filtro, massa a 2500amu.
  • Íon Alto do Pulso da Sensibilidade/Estabilidade que Conta o Detector com alcance dinâmico de 7 décadas.
  • Ioniser integral Ajustável para o MS do potencial de aparência com opção do acessório do elétron.
  • Encerrando o Calibre e os bloqueios para fornecer sobre a protecção da pressão.
  • Sinalize a definição 1ms bloqueando por plasmas pulsados ou energia & tempo das distribuições em massa v.
  • 1000eV Opção, opção de Flutuação até 10keV, Copo de Faraday para plasmas high-density.
  • Mumetal, Rádio-Metal que protege opções, opção de alta pressão da operação.
  • Controle de MASsoft através de RS232, de RS485 ou de LAN do Ethernet.

modo de operação

O EQP opera-se em um de dois modos:

  1. Modo do PI: Os Íons podem directamente ser extraídos do plasma. Estes íons do plasma (PI) são formados no plasma, extraídos dele e focalizados no filtro da energia.
  2. Modo do EI: Os Pontos Mortos e os radicais são provados do plasma e ionizados então na baixa pressão (10-5 torr) dentro de uma fonte de íon (EI) do impacto do elétron. A energia dos elétrons de ionização pode ser controlada para permitir a detecção de radicais. Os Íons da fonte do feixe de elétron são transferidos primeiramente e focalizados então directamente no filtro da energia.

Aplicações

  • Estudos Gravar/Depósito
  • Ablação da implantação de Íon/Laser
  • Detecção Residual de Análise/Escape de Gás
  • Acoplamento do eléctrodo do Plasma - siga condições do eléctrodo durante a operação.
  • Análise através de um viewport, eléctrodo aterrado, eléctrodo conduzido

Last Update: 25. April 2013 13:19

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